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可加工陶瓷的直通孔鑽孔
以自有光學設計加工方式,透過短脈衝奈秒雷射,實現陶瓷微鑽孔加工,可應用於探針卡製造上的關鍵技術。
加工清洗設備
設有二流體清洗機*2、超音波清洗機*2,並備有去離子水製造機,以去離子水做加工後之初步清洗,以保加工品之潔淨度。
雷射開槽(laser groove)
矽晶圓表面塗佈一層PI(Polyimide)絕緣,在使用輪刀進行加工時造成PI的撕裂,目前使用的解決方式,是利用雷射在晶圓上的PI進行開溝槽...
濾光片切割設備
Inducer-5080雷射切割設備,雷射波長不受濾光片鍍膜限制,雙面都可以入射切割,可切割翹曲大的片子,切割線寬<3um,切割崩邊<20u...